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高效过滤器是提供洁净室洁净环境非常重要的部件，属耗材类，一般每两年更换一次。高效过滤器自身及安装如果存在缺陷，如过滤器本身有小孔或者安装不严密形成缝隙，都会导致达不到预期的净化效果，因此，高效过滤器安装或更换后，必须对过滤器进行检漏。
检漏对象：高效送风口、FFU、层流罩、干热灭菌柜、隧道烘箱灭菌、生物安全柜、风淋室、洁净台、洁净屏、净化单元等的过滤器检漏服务。
采用光度计法对高效过滤器进行扫描检漏，可以有效的检测高效过滤器的情况，查看是否有泄漏及损坏。
气溶胶发生器发出的物质为PAO，对人体和过滤器损害小。
检漏对象：高效送风口、FFU、层流罩、干热灭菌柜、隧道烘箱灭菌、生物安全柜、风淋室、洁净台、洁净屏、净化单元等的过滤器检漏服务。
采用光度计法对高效过滤器进行扫描检漏，可以有效的检测高效过滤器的情况，查看是否有泄漏及损坏。
气溶胶发生器发出的物质为PAO，对人体和过滤器损害小。
检测依据：
GB 50591-2010《洁净室施工及验收规范》
GB/T 13554-2008《高效空气过滤器》
具体检测方法如下：
1、被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%-120%之间运行；
2、在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。
3、当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏有气溶胶，并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。
4、对于高校过滤器，当检漏仪表为对数刻度是，上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的104倍。当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度宜达到（20~80）μg/L，浓度低于20μg/L会降低检漏灵敏度，高于80μg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有（0.001~100）μg/L的测量范围。
5、对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0.01%，即当采样探头对准被测过滤器的出风某一点，静止检测时，如测得透过率高于0.01%，即认为该点为漏点。
GB/T 13554-2008《高效空气过滤器》
具体检测方法如下：
1、被检漏过滤器必须已测过风量，在设计风速的80%-120%之间运行；
2、在同一送风面上安有多台过滤器时，在结构上允许的情况下，宜每次只暴露1台过滤器的方法进行测定。
3、当几台或全部过滤器必须同时暴露在气溶胶中时，为了对所有过滤器造成均匀混合，宜在风机吸入端或这些过滤器前方支干管中引入检漏有气溶胶，并立即在受检过滤器的正前方测定上风侧浓度。
4、对于高校过滤器，当检漏仪表为对数刻度是，上风侧气溶胶浓度应超过仪表小刻度的104倍。当检漏仪表为线性刻度时，上风侧气溶胶浓度宜达到（20~80）μg/L，浓度低于20μg/L会降低检漏灵敏度，高于80μg/L长时间检测会造成过滤器污染堵塞。检漏仪表应具有（0.001~100）μg/L的测量范围。
5、对于光度计检漏法确认过滤器局部渗漏的标准透过率为0.01%，即当采样探头对准被测过滤器的出风某一点，静止检测时，如测得透过率高于0.01%，即认为该点为漏点。